蓝宝石增粘烘箱， HMDS烘箱将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

HMDS烘箱原理，2-12寸晶圆预处理烘箱通过对烘箱 HMDS 预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间 等参数的编辑，可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS，降低了 HMDS 处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量， 提高光刻胶与硅片的黏附性。

将HMDS涂到样品表面后，经烘箱加温可生成硅氧烷为主的化合物，将样品表面由亲水性变为疏水性，此疏水性能HMDS烘箱，hmds预处理烘箱够很好的与光刻胶结合，增加了样品表面与光刻胶的粘附作用。

HMDS烤箱机台，HMDS预处理烘箱箱体外壳采用高级不锈钢制作，内胆为316L医用不锈钢材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

HMDS真空烘箱处理系统：性能更好，由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理，所以不会有尘埃的干扰，再者，由于该系统是将“去水烘烤“和HMDS处理放在同一道工艺，同一个容器中进行，晶片在容器里先经过100℃-160℃的去水烘烤，再接着进行HMDS处理，不需要从容器里传出，而接触到大气，晶片吸收水分子的机会大大降低，所以有着更好的处理效果。

HMDS预处理烘箱价格：处理更加均匀,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。

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