可程式恒溫加熱臺(tái),可替代進(jìn)口的精密熱板用于半導(dǎo)體光刻工藝的烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。適用于材料學(xué)、IC芯片、半導(dǎo)體、醫(yī)療、冶金學(xué)、生物化學(xué)、有機(jī)化學(xué)、高分子及納米材料科學(xué)而研制。
半導(dǎo)體充氮烘箱,氮?dú)饪灸z烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤
抗粘劑涂膠機(jī),抗粘 劑真空預(yù)處理系統(tǒng)用于半導(dǎo)體,光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料,如制備各種微納電子器件、光學(xué)器件、光電器件、存儲(chǔ)器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。
氮?dú)夂嫦?,四箱氮?dú)饪鞠?,不銹鋼充氮烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
勻膠機(jī),可程式勻膠 機(jī)用于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。
智能型烤膠機(jī),自動(dòng)烤膠臺(tái)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復(fù)性好??稍诠さV企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。