等離子清洗機(jī),等離子表面處理儀是一種表面處理設(shè)備, 用氣體作為處理介質(zhì),它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)以電能將氣體轉(zhuǎn)換為化學(xué)反應(yīng)性和活性很高的氣體等離子體,等離子體對固體樣品表面進(jìn)行相互作用,引起分子結(jié)構(gòu)改變,從而對樣品表面的有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗和使樣品表面改性,以獲得希望的表面特性。
等離子清洗機(jī),等離子表面處理儀應(yīng)用領(lǐng)域:
1、清洗光學(xué)器件、電子元件、激光器件、鍍膜基片、芯片
2、改善粘接光學(xué)元件、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料、宇航材料等所用膠水的粘和力
3、去除金屬材料表面的氧化物
4、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化,增強(qiáng)其表面粘附性、浸潤性、相容性
5、高分子材料表面修飾
等離子清洗機(jī),等離子表面處理儀簡介:
是一種表面處理設(shè)備, 用氣體作為處理介質(zhì),它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)以電能將氣體轉(zhuǎn)換為化學(xué)反應(yīng)性和活性很高的氣體等離子體,等離子體對固體樣品表面進(jìn)行相互作用,引起分子結(jié)構(gòu)改變,從而對樣品表面的有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗和使樣品表面改性,以獲得希望的表面特性。用氣體作為處理介質(zhì)有效地避免了對環(huán)境和樣品帶來的二次污染。等離子清洗機(jī)外接一臺真空泵,工作時氣體等離子體輕柔沖刷樣品的表面,短時間就可以使有機(jī)污染物被*地清洗掉,同時污染物被真空泵抽走,其清洗能力達(dá)到分子級。等離子清洗機(jī)可對樣品的表面改性,加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤性,也可對樣品消毒和殺菌。
結(jié)構(gòu):
設(shè)備由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是在真空狀態(tài)下,等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空達(dá)到所需工藝的真空度,再在高頻發(fā)生器的作用下,將氣體進(jìn)行電離,形成等離子體(物質(zhì)第四態(tài))。高頻發(fā)生器提供能量使氣體電離成等離子態(tài)。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電,根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍(lán)色到深紫色的色彩可見光,材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發(fā)生作用,得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。
真空腔的設(shè)置具有很強(qiáng)的靈活性,腔內(nèi)有可調(diào)節(jié)層極板插槽,根據(jù)需要每個插槽內(nèi)的極板都可以設(shè)置為獨立的陽極、陰極。也可以根據(jù)需要來調(diào)整極板間的距離,來達(dá)到不同的工藝效果。由于勻氣腔、抽氣口、以及陽極、陰極極結(jié)構(gòu)*的氣流設(shè)計。
主要技術(shù)指標(biāo):
l、電源:220V 50Hz 1.5KW
2、整機(jī)尺寸:(長×寬×高) 620×550×1630mm
3、反應(yīng)室尺寸:(長×寬×高)450×450×300mm
4、射頻電源:13.56MHz;0~500W連續(xù)可調(diào)
5、zui大負(fù)荷電流:10ARMS
6、zui大負(fù)荷電壓:200VRMS
7、傳輸效率:>90%
8、全自動匹配
9、匹配時間:3~5s
l0、可匹配阻抗實部范圍:1~500Ω
l1、可匹配阻抗虛部范圍:-j200~+j200
l2、主電容:空氣電容
l3、起輝真空度:約-100KPa左右
l4、冷卻方式:風(fēng)冷
l5、真空腔:鋁腔
l6、電極:陰極、陽極。兩極之間zui大距離50mm;可調(diào)節(jié)
l7、氣體流量:國產(chǎn)質(zhì)量流量計,量程為:0-2L/min和0-5L/min
l8、配4升機(jī)械泵
l9、整機(jī)采用松下plc、觸摸屏控制