無(wú)塵烘箱，100級(jí)潔凈烘箱 烘箱設(shè)備

無(wú)塵烘箱，100級(jí)潔凈烘箱用途:

  無(wú)塵烘箱，100級(jí)潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

特點(diǎn)：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100；

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過(guò)濾效率99.99%，Class 100；

4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)：

1、主要技術(shù)指標(biāo)：

 無(wú)塵等級(jí)：Class 100;     

 溫度范圍：RT+10～200℃；

 溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）        

 溫控精度：±0.1℃;        

 工作室尺寸：W600×D600×H500（mm） 可自定內(nèi)部尺寸        

 電源：380v , 50Hz，5KW    

 網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

 潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。

M計(jì)裝可編程控制1模式20步驟，zui多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝

標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。 

2、箱體結(jié)構(gòu)：

外殼材料:外箱采用SUS304不銹鋼或 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵

內(nèi)膽材料:優(yōu)質(zhì)潔凈T1.5mmSUS304#鏡面不銹鋼或國(guó)標(biāo)鏡面不銹鋼材質(zhì)，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤產(chǎn)生 PARTICLE；

活動(dòng)層板:配置2層承重型不銹鋼沖孔拖盤(pán)，可根據(jù)實(shí)際需要增加

保溫風(fēng)道：厚度100毫米硅酸鋁保溫棉或高密度耐高溫玻璃纖維，保溫隔熱性能好

3、門(mén)式結(jié)構(gòu)：

數(shù) 量：?jiǎn)伍_(kāi)門(mén)

厚 度：100毫米硅酸鋁保溫棉（高溫棉），局部加強(qiáng)安裝鉸鏈和拉手

門(mén) 扣：迫緊式壓力把手，美觀，硅酸鋁纖維密封棉條，密封性好，壽命長(zhǎng)

4、循環(huán)系統(tǒng)：

循環(huán)系統(tǒng)：強(qiáng)制水平送風(fēng)循環(huán)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后熱風(fēng)吸入風(fēng)道成為源再度循環(huán)加熱，由此減小能量損耗并保證箱內(nèi)的溫度均勻性，當(dāng)門(mén)開(kāi)、關(guān)動(dòng)作 引起擾動(dòng)時(shí)，可借此送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)迅速回復(fù)操作狀態(tài)溫度值

進(jìn)氣/排氣：

進(jìn)氣系統(tǒng)：數(shù)量1個(gè)，φ30-60mm

排氣系統(tǒng)：數(shù)量1個(gè)，φ30-60mm

5、完善的安全保護(hù)措施：
     漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器，逆向防止器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)。