晶圓烘箱，晶圓制程烤箱

晶圓烘箱，晶圓制程烤箱用途:
  晶圓烘箱，晶圓制程烤箱烤箱用于晶圓、半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

特點(diǎn)：
在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；
全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高精度溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)：

 無塵等級：Class 100;     

 溫度范圍：RT+10～200、300℃；
 溫度均勻度：±2℃;    

 溫度波動度：±0.5℃（空載）；        
 溫控精度：±0.1℃;

 進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;  

 排風(fēng)口： φ3”排風(fēng)管;

 工作室尺寸：W1500×D1000×H1400（mm）；可選擇      

 電源：380v , 50Hz，15KW；   

 網(wǎng)板：5層；  

 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

控制器：彩色觸摸屏；

顯示器：3.5英寸TFT彩色LCD顯示器；

輸出方式：PID控制輸出；

運(yùn)行方式：程序方式、定值方式；

耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)

過濾效率：≥99.99%;

完善的安全保護(hù)措施：

     漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置（上限220℃）、 電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、 反向保護(hù)裝置、內(nèi)襯防火材料、機(jī)臺異常蜂鳴器、門面安全開關(guān)。