高溫?zé)o塵無(wú)氧烘箱,晶圓無(wú)氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
高溫?zé)o塵無(wú)氧烘箱,晶圓無(wú)氧烤箱?概述
高溫?zé)o塵無(wú)氧烘箱,晶圓無(wú)氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
技術(shù)指標(biāo)
Ø 潔凈度:class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
Ø 升溫時(shí)間:5-8℃/min,(空箱測(cè)試)
Ø 降溫時(shí)間:可滿足130℃-50℃,降溫5℃/min(空箱測(cè)試)
Ø 氧含量
(配氧含量分析儀)高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
Ø 數(shù)據(jù)輸出:溫度和氧含量無(wú)紙記錄儀
?安全保護(hù)性能
Ø 報(bào)警功能: 1)三色燈 2) 超溫報(bào)警 3)熱電偶故障報(bào)警 4)低水壓報(bào)警
Ø 安保功能:1)短路保護(hù)
2)漏電保護(hù)
3)超溫保護(hù),獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器
4)電機(jī)保護(hù),電機(jī)過電流、水冷保護(hù)
5)電磁門禁保護(hù),當(dāng)溫度超過100℃,電子鎖自動(dòng)鎖緊,防止高溫開門
設(shè)備環(huán)境安裝條件
Ø 環(huán)境溫、濕度5℃~+35℃,相對(duì)濕度:≤85%;
Ø 周圍無(wú)強(qiáng)烈震動(dòng);
Ø 無(wú)陽(yáng)光直接照射或其它熱源直接輻射,
Ø 周圍無(wú)強(qiáng)烈電磁場(chǎng)影響;
Ø 周圍無(wú)高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì);
Ø 百級(jí)潔凈車間;
Ø 周圍無(wú)強(qiáng)烈氣流,當(dāng)周圍空氣需要強(qiáng)制流動(dòng)時(shí),氣流不應(yīng)在直接吹到箱體上;
Ø 設(shè)備應(yīng)放在堅(jiān)固平穩(wěn)的平面上,并使其保持水平狀態(tài);
Ø 安裝設(shè)備使用空開電源 ;