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為了獲得良好的聚酰亞胺性能,非常好的溫度均勻性,低氧含量和低顆粒數(shù)是非常重要的,無(wú)塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹(shù)脂(PI)烤箱腔內(nèi)的氣體保持相當(dāng)干凈(100級(jí)),良好的溫度均勻性。通過(guò)氮?dú)獯祾呖蓪⒀鯕夂拷档椭?0ppm以下。這保證了非光敏聚酰亞胺的優(yōu)異工藝結(jié)果。
無(wú)塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹(shù)脂(PI)烤箱概述
為了獲得良好的聚酰亞胺性能,非常好的溫度均勻性,低氧含量和低顆粒數(shù)是非常重要的,無(wú)塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹(shù)脂(PI)烤箱腔內(nèi)的氣體保持相當(dāng)干凈(100級(jí)),良好的溫度均勻性。通過(guò)氮?dú)獯祾呖蓪⒀鯕夂拷档椭?0ppm以下。這保證了非光敏聚酰亞胺的優(yōu)異工藝結(jié)果。
應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料、導(dǎo)線、光纖和石英毛細(xì)管表面的保護(hù),以及半導(dǎo)體器件的鈍化保護(hù)、無(wú)塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽(yáng)能、新材料等行業(yè).
無(wú)塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹(shù)脂(PI)烤箱技術(shù)參數(shù)
材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼,內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼
溫度范圍:RT+10-200/450℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動(dòng)度:<±1℃
溫度均勻度:≤±1/2%
潔凈度:class 100,設(shè)備采用無(wú)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
升溫時(shí)間:根據(jù)要求定做
降溫時(shí)間:根據(jù)要求定做
高溫狀態(tài)氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
低溫狀態(tài)氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
數(shù)據(jù)記錄:溫度和氧含量記錄儀
無(wú)塵烤箱,非光敏型聚酰亞胺樹(shù)脂(PI)烤箱性能特點(diǎn)
無(wú)塵烤箱是對(duì)流烤箱。氣體通過(guò)耐熱HEPA過(guò)濾器并由特殊的護(hù)套加熱器加熱,然后通過(guò)沖壓后側(cè)引入爐腔。氣體以層流方式通過(guò)腔室,并被沖壓到前端排出??鞠涞墓娘L(fēng)機(jī)吸入來(lái)自門(mén)的氣體,并將其與來(lái)自外部的新鮮氣體混合。氣體混合物通過(guò)熱交換器以使其冷卻,部分氣體被排出。剩余的氣體通過(guò)HEPA過(guò)濾器,然后再次加熱,依次循環(huán)。