工業(yè)烘箱，工業(yè)無塵烘箱

工業(yè)無塵烘箱用途:

用于半導(dǎo)體制造中預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、IC封裝、治具烘烤、光刻膠固化等；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。

工業(yè)烘箱，工業(yè)無塵烘箱特點(diǎn)：
1.烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100、Class 1000；
2.全周氬焊，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3.采用水平或垂直送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到z佳溫度控制精度。

工業(yè)烘箱，工業(yè)無塵烘箱技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標(biāo)：
內(nèi)箱材質(zhì)：優(yōu)質(zhì)304不銹鋼；

外箱材質(zhì)：冷軋板噴塑或不銹鋼；

無塵等級(jí)：Class 100、1000    

溫度范圍：RT+10～250℃、300℃
溫度均勻度：±2℃;    

溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）；        
溫控精度：±0.1℃;

進(jìn)風(fēng)口：φ6mmN2進(jìn)氣、流量計(jì)控制;  

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氮?dú)夂嫦?/span>技術(shù)參數(shù)：      

1． 內(nèi)部尺寸：800*800*1000（mm）

2． 內(nèi)箱分層：三層

3.  溫度范圍：RT＋10℃～250℃。

4． 溫度波動(dòng)：<±1℃。

5． 溫度均勻：±1%（空載測(cè)試）。

6．溫控裝置：高精度P.I.D智能溫控儀表、P.I.D自動(dòng)演算、時(shí)間定時(shí)。

7．內(nèi)室材料：采用無磁性鏡面不銹鋼；外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE) 。

8．保溫材料：陶瓷纖維。

9．特質(zhì)復(fù)合式SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器。

保護(hù)裝置：超溫保護(hù)器，無熔絲開關(guān)。

11. 進(jìn)氣/排氣：
進(jìn)氣系統(tǒng)：數(shù)量1個(gè)，φ8mm

充氣壓力：0.01~0.02Mpa
流 量 計(jì)：氮?dú)廪D(zhuǎn)子流量計(jì)
減 壓 閥:進(jìn)氣端配有氮?dú)鉁p壓閥，充氣壓力指針顯示

排氣系統(tǒng)：數(shù)量1個(gè)，φ50mm