真空無氧烘箱,高溫無氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預(yù)處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
真空無氧烘箱,高溫無氧真空烤箱簡介
真空無氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu),全部采用無塵材料,箱內(nèi)可充氮、真空,使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設(shè)有超溫斷開加熱、氧含量檢測、輔助降溫裝置及報警電路,控制可靠,使用安全。
真空無氧烘箱用于PI膠、BCB膠固化,鍵合材料預(yù)處理,ITO膜退火,PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
真空無氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍: RT(室溫)+50~ +200/300/400/500℃;
溫度波動度:≤±1℃
升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風冷+水冷降溫
氮氣控制:電磁閥+可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測:氧濃度檢測儀可達10ppm
工作尺寸:W350×H350×D350,可定制
高溫無氧真空烤箱結(jié)構(gòu):
箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆;
內(nèi)室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼;
保溫材料:超細陶瓷纖維;
排 氣 口:KF25;
真空泵:渦旋式油泵或干泵;
真空無氧烘箱,高溫無氧真空烤箱溫控系統(tǒng):
操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
溫度測量:K型熱偶;
控制儀表:高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,可程式觸摸屏控制器可選擇;
超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng),保證試驗品的安全;
控制系統(tǒng):主要電器件均采用施耐德、正泰等品牌元氣件;