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HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過(guò)干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合。
HMDS 烘箱原理
HMDS 烘箱也稱為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)等，是將HMDS蒸汽通過(guò)干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。
HMDS 烘箱技術(shù)指標(biāo)
溫度范圍：RT+10-250℃
真空度：≤133pa（1torr）
控制儀表：人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行
HMDS控制：可設(shè)定
HMDS工藝：進(jìn)入腔體到尾氣排出*密閉，無(wú)任何泄漏
安全檢測(cè)：在線檢測(cè)，HMDS泄漏警 報(bào)提示
儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液瓶
真空泵：無(wú)油渦旋真空泵
規(guī)格尺寸（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
數(shù)據(jù)記錄：開(kāi)機(jī)、待機(jī)、升溫、壓力等數(shù)據(jù)記錄
功能：脫水烘烤、增粘劑蒸鍍、后烘
用途 ：將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
無(wú)氧烘箱，真空無(wú)氧烘箱，無(wú)塵烘箱，HMDS烘箱，硅烷蒸鍍機(jī)，無(wú)塵無(wú)氧烘箱，氮?dú)夂嫦?，真空熱風(fēng)一體烘箱，超低溫試驗(yàn)箱，快溫變?cè)囼?yàn)箱，恒溫恒濕試驗(yàn)箱，高低溫沖擊試驗(yàn)箱等設(shè)備，以及非標(biāo)定制。---上海雋思儀器專業(yè)生產(chǎn)/服務(wù)！
