前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱優(yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性,提高光刻膠對襯底的黏附性
前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱用途
前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進行,本課題采用的熱風(fēng)烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱,由于在鼓風(fēng)烘箱中對流烘烤將會使前烘進行的更加均勻,所以在鼓風(fēng)箱中前烘的效果將會更理想。
前烘是在涂膠結(jié)束后進行,它的作用有以下幾個方面
驅(qū)趕膠中的溶劑
提高膠對襯底的黏附性
提高膠的抗腐蝕能力
優(yōu)化膠的光學(xué)吸收特性
提高涂膠的均勻性
提高條寬控制能力
通過前烘,基片上的光刻膠基本固化。
前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱性能:
潔凈度:Class100;
溫度:RT+15~200℃;
氣體:N2
計時功能:0-99H99M99S
設(shè)備材質(zhì):內(nèi)部SUS304不銹鋼
工作尺寸(mm):
450×450×450
500×500×550
(可定制)
網(wǎng)板:活動式2塊
前烘氮氣烘箱,潔凈烘箱適用性:
氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研.
真空無氧固化爐,高溫?zé)o氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍: RT ~300/450/550℃;
溫度波動度:≤±1℃
升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風(fēng)冷+水冷降溫
氮氣控制: 可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測:20~1000ppm
工作尺寸:W350×H350×D400,
高溫?zé)o氧真空烘箱溫控系統(tǒng):
操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
溫度測量:K型熱偶;
控制儀表:高精度溫度控制器,PID調(diào)節(jié),控制精度0.1℃,