潔凈度等級有標(biāo)準(zhǔn)就是ISO，還有國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)，10/100/1000級屬于國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)。10/100/1000的意思是：每立方米空氣內(nèi)含有微粒（微粒直徑大于等于0.1微米）的zui大個(gè)數(shù)。例如，100級就是粒徑大于等于0.1微米的zui大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。
國標(biāo)與ISO標(biāo)準(zhǔn)相對應(yīng)： 10級相當(dāng)于ISO4級，100級相當(dāng)與ISO5級，1000級相當(dāng)于ISO6級。
100級潔凈烤箱?用途:
100級潔凈烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
100級潔凈烤箱特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到zui的溫度控制精度。
100級潔凈烤箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
無塵等級：Class 100; 可自定義10/1000級
溫度范圍：RT+10～200℃；zui高溫度可自定義
溫度均勻度：±2℃;
溫度波動(dòng)度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;
工作室尺寸：W800×D800×H1000（mm）可自定義
電源：380v , 50Hz，20KW
網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))
潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
員_a.png)