控制可靠使用也安全?無塵烘箱是如何做到兼顧可靠性與安全性的
更新時間:2021-01-11 點擊次數:1480次
無塵烘箱箱內空氣封閉自循環(huán),經耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復過濾,使烘箱工作室內處于無塵狀態(tài)。無塵烤箱工作室為不銹鋼結構。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。
無塵烘箱用途:
用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環(huán)系統(tǒng),風源由循環(huán)馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class100;
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。
無塵烘箱技術參數:
無塵等級:Class100;
溫度范圍:RT+10~200℃;
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動度:±0.5℃(空載)
溫控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:自定義(mm)
電源:380v,50Hz,
網板:2塊(高度可調節(jié))