抗粘 劑氣相涂布烘箱，抗粘劑 氣相沉積系統(tǒng)主要用于納米壓印光刻（NIL）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中硅烷涂膠；以及功率半導體,LED,MEMS,半導體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。

芯片真空儲存柜，半導體真空氮氣柜半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等）及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品，還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯，以防潮、防氧化變色。適用于工廠、高等院校、科研等場所。

真空儲存柜，真空干燥柜適用于各類化工原料、貴重金屬、金屬粉末等各種固體、粉狀、糊狀、液體，電子產(chǎn)品（半導體、電路板、電子成品、芯片、電池板、電池片、電子元器件、高級金屬制品、厭氧產(chǎn)品、易氧化產(chǎn)品等）及機金屬加工件與各類不便于冷藏的食品，還有書籍、衣物等厭氧物品的真空存貯，以防潮、防氧化變色。適用于工廠、高等院校、科研等場所。

抗粘劑涂膠機，抗粘 劑真空預處理系統(tǒng)用于半導體，光電、電子行業(yè)硅片或石英硬模板等材料，如制備各種微納電子器件、光學器件、光電器件、存儲器、微流體通道、生物芯片等微納結(jié)構(gòu)制備方面的應(yīng)用。

抗粘 劑鍍膜機，抗粘劑蒸鍍機抗粘劑氣相涂布機模具在使用前，要涂一層抗粘劑，使得模具和壓印膠之間的粘附性變差，使脫模過程變得容易。

勻膠機，可程式勻膠 機用于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。

真空無氧烘箱，高溫無氧真空烤箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導體封裝、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。